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單晶石墨熱場的功能優勢
耐高溫功能：石墨熔點達3650℃，可在真空或惰性氣體環境中長期安穩工作。
導電與機械強度：抗壓強度≥80MPa，兼具導電性與結構安穩性，適配大尺寸單晶爐（如36英寸以上硅棒出產）。
化學惰性：耐酸堿腐蝕，避免與熔融硅反響生成碳化硅雜質，保證單晶硅純度。
成本效益：等靜壓石墨代替傳統鎢鉬加熱器后，能耗降低30%，同時延長熱場使用壽命，降低綜合出產成本。
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