關于PECVD石墨舟工序標準物質的使用?

關于PECVD石墨舟工序標準物質的使用?

關于標準物質，大家都知道在計量時是做標準件使用的，石墨舟本文中講到的標準物質將這一標準物質進行了詳細化。

　　例如在PECVD工序主要操作是使用機器手進行工作，因此所提及的標準物質為標準機械手、標準石墨舟及標準上料小車三部分。

　　眾所周知，機械手會有相應的準確度，在使用一段時間后，會由于使用的原因會造成一定的偏差，因此會造成在上料過程中夾石墨舟會傾斜，造成摔片現象。因此需要對機械手進行定期的校正，但是由于技術方面的問題，我們不能總是去調整機械手，所以我們將問題轉向方便調整的石墨舟及上料小車上。

　　石墨舟在使用的過程中，不會造成什么大的問題，主要是其載體的問題，那就是上料小車。

　　上料小車在使用一段時間后會與機械手形成匹配不良，導致在上料的過程中出現各種問題，導致整體的上料質量指標波動。

　　首先，上料小車在使用時會由于使用的原因會造成小車的不平穩，導致小車上石墨舟的位置偏移；再次，由于操作小車的人員不同，因此也會對機械手有不同的影響。

　　由于是一臺機械手對應多臺上料小車，因此我們采取對小車進行規范的方法。

　　一、我們制定標準小車（注：此小車并不是理想狀態下各方面參數均為最規范的小車，而是任一小車，主要是調整機械手與其對應關系）。并將石磨舟放置在小車上的位置及方向進行定位，我們將其定義為標準，并以此來調整機械手，保證機械手在此小車和石墨舟的位置為最佳上料位置。

　　二、將小車的高度及地面的存放位置進行規定，采用8S標準定位方法，避免由于小車的高度位置等低級問題導致的上料時的摔片現象。

　　三、以此小車為標準，調整其他對應該機械手的小車，保證其標準小車的標準作用的發揮。

　　四、對機械手進行定期調試，保證機械手與小車的匹配性。

　　五、對所有小車進行定期保養維護，保證小車的標準一致性。

　　通過上述我們措施的實施，有效的減少了上料過程中的摔片現象及對石磨舟的影響。

　　通過此案例，我們還在其他工序對標準物質進行了制定，如在PE工序對不同顏色的片子進行分類，在印刷前就對問題片進行分類，可以降低生產成本，及在印刷過程中造成的資料浪費。并在印刷工序增加標準色板的電池片，保證分色時能實現目視化，減少了色差問題出現在概率。