石墨制品表面如何氣相層積處理

一種石墨件表面沉積碳化硅的方法，包括如下步驟：(1)石墨表面除雜：首先將石墨件表面的雜質通過形成金屬鹵化物升華除去；(2)CVD沉積：將處理后的石墨件送入CVD反應爐，通過化學氣相沉積反應在石墨件表面沉積碳化硅涂層。本發明通過在CVD反應爐之前設置預處理爐，將石墨件含有的金屬雜質通過與鹵族氣體反應形成金屬氯化物升華除去，有利于純化石墨件，避免其含有的雜質帶入后續的系統。另外，通過超聲清洗，進一步清潔石墨件的表面，避免附著的顆粒物存在影響碳化硅涂層的結合強度。