石墨舟皿的應用場景
石墨舟皿的運用場景
硬質合金燒結
中心功用:作為氫氣脫膠和真空燒結工藝的專用容器,承載硬質合金坯體(如切削刀具、礦山東西等)。
技術適配:
耐受1600-2200℃的恢復性氣氛(如氫氣、真空),確保燒結進程安穩。
經過W型雙向斜槽規劃,使硬質合金長條薄片產品受熱均勻,溫差波動≤3℃,防止翹曲變形。
棱角保護槽將產品與銳邊觸摸轉為平面觸摸,邊角破損率從傳統結構的5.2%降至0.8%。
支撐最大單件長度1200mm的硬質合金坯體承載,適配異形件的可調度固定需求(如最小截面5mm×5mm產品)。
半導體制作
高溫爐管與加熱器:
在晶圓制作、集成電路制作中,石墨舟皿作為高溫爐管的中心部件,耐受2800℃慵懶環境,遠超金屬(如鉬的1600℃)和陶瓷資料。
供應均勻熱場,電阻率低且隨溫度改變小,完畢精準控溫(±1℃),適用于精細陶瓷-金屬復合資料的共燒。
晶圓傳輸系統:
在12英寸晶圓ALD(原子層堆積)設備中,滿意NAS 1638 Class 3級潔凈度標準(每立方米>0.5μm顆粒<1000個),定位精度差錯≤±0.005mm。
電池片鍍膜與燒結:
在PERC電池片的銀漿燒結工序中,石墨舟皿需在5分鐘內完畢室溫→800℃→冷卻的劇烈溫變,表面溫差<±2℃(傳統載具±15℃),碎片率從0.5%降至0.02%,單次工藝能耗下降18%。
多晶硅太陽能電池:
作為等離子體增強化學氣相堆積工藝的載具,耐受高溫文化學腐蝕,確保硅片鍍膜均勻性。
鋰電池制作
電極資料制備:
石墨舟皿用于承載正負極資料,其優異的導電功能(熱導率高達120W/(m·K))促進熱量均勻分布,行進資料燒結質量。
金屬粉末熔煉:
高純石墨(灰分含量<50ppm)防止雜質污染,適用于半導體封裝用焊料的熔煉。
化學反應設備
催化反應載體:
石墨舟皿的化學安穩性使其成為承載反應物的抱負容器,尤其在恢復性氣體環境中不發生反應,延伸運用壽命。
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