單晶石墨熱場的核心功能

單晶石墨熱場的中心功能
    單晶石墨熱場是單晶硅成長設備中的中心熱辦理體系，它經過電能轉化為熱能，完結硅料熔融及晶體成長溫度的精準操控，對單晶硅的質量、成品率和出產功率具有決定性影響。
    高溫熔融：在1414℃以上安穩熔化硅料，并保持單晶成長所需的溫度梯度，保證晶體結構完整性。
    熱場均勻性：運用石墨的高導熱性完結熱量均勻分布，下降晶體缺陷率，前進單晶硅的質量。
    污染防控：高純度石墨資料可削減熔硅污染，滿足半導體級硅資料對純度的嚴格要求。