高純石墨燒結(jié)盤介紹
高純石墨燒結(jié)盤具有許多明顯優(yōu)勢，在多個工業(yè)領域發(fā)揮著重要作用，以下從特性、運用場景、制備工藝及表面處理等方面打開介紹：
特性
高純度與高安穩(wěn)性：碳含量超過99.99%，在2000℃以上仍能堅持結(jié)構(gòu)安穩(wěn)，熱膨脹系數(shù)低至4.3×10??/K，保證高溫環(huán)境下尺寸精度。
杰出導熱與導電性：導熱系數(shù)高達120-195W/(m·K)，導電性比非金屬礦高百倍，適用于需求高效熱傳導或電學功能的場景。
耐腐蝕與抗氧化：常溫下耐酸堿腐蝕，高溫抗氧化功能通過表面涂層（如碳化硅）可進一步進步，延伸運用壽命。
自潤滑與低沖突：層狀結(jié)構(gòu)賦予其自潤滑特性，沖突系數(shù)低至0.05-0.1，削減磨損并下降能耗。
高精度加工性：可加工至平面度<0.1μm，滿意12英寸晶圓加工需求，適用于半導體等精密制造領域。
運用場景
半導體制造：作為晶圓加工基板，支撐3nm芯片制造，通過梯度燒結(jié)技術(shù)優(yōu)化層間應力，進步彎曲強度至450MPa。
高溫燒結(jié)與熱處理：用于金屬熔融澆鑄、陶瓷燒結(jié)等工藝，承受高溫無變形，保證產(chǎn)品一致性。
航空航天：運用于航空發(fā)動機葉片制造，在1600℃環(huán)境下壽命延伸400小時，滿意極點工況需求。
新能源領域：適用于電池資料燒結(jié)，其高純度與化學安穩(wěn)性可防止雜質(zhì)引進，進步電池功能。
制備工藝
原料挑選與提純：選用天然石墨或人造石墨，通過浮選、堿酸法、氫氟酸法等工藝將碳含量提純至99.99%以上。
高溫燒結(jié)：在2000℃以上真空或慵懶氣氛中燒結(jié)，構(gòu)成高度有序的晶須結(jié)構(gòu)，增強機械強度與熱安穩(wěn)性。
脫碳處理：在高溫無氧環(huán)境中去除殘留雜質(zhì)，進一步進步純度與化學安穩(wěn)性。
表面處理
碳化硅涂層：構(gòu)成致密、耐磨損、高耐腐蝕的涂層，延伸運用壽命并實現(xiàn)高純度表面結(jié)構(gòu)。
鍍層與化學處理：增加耐磨性、防腐性，進步在高溫高壓環(huán)境下的安穩(wěn)性。